■產品簡介CR-100V白光干涉檢測系統(白光干涉儀)可以非接觸檢測表面微結構形貌,以及相關的截面以及粗糙度參數。精度高,不會對被測物造成損壞。主要應用于高端制造行業,例如:光電子材料與器件、材料科學表面分析,MEMS微器件、LED芯片,光學測量、光學加工、精密機械加工,高等學校光學技術及物理光學實驗等。■產品特點1、非接觸檢測2、新型白光干涉物鏡,工作距離可達17.7mm3、可測試最低反射率0.5%的樣品4、高分辨率彩色CCD系統5、白光干涉軟件操作簡潔,全中文界面,很容易掌握操作。■技術規格一、白光干涉儀參數1、光學設計:無限遠相移白光干涉系統2、觀察方式:連接電腦,視頻顯示3、光學參數放大倍數光學系統數值孔徑N.A測量范圍光學分辨率工作距離5X(選購)無限遠白光干涉0.120.5x0.55um23.6mm10X無限遠白光干涉0.250.25x0.252.2um17.7mm4、工作臺:圓盤360°旋轉,直徑150mm,帶傾斜調整功能,X軸行程:76mm,Y軸行程:50mm5、調焦:行程50mm,手動粗微調,微調格值0.002mm6、光源:LED白光光源,亮度手動可調,使用壽命不低于10000小時。中心波長:580nm7、、電源:AC100--240V50-60Hz8、儀器重量:20kg二、圖像顯示:圖像傳感器:1/2.5"彩色300萬CMOS;分辨率:2048x1536;像素點尺寸:2.2μmx2.2um;幀率:8fps全分辨率;數據接口:USB3.0.三、自動圖像采集測量系統1、納米驅動器:最大位移:80um;分辨率:5nm閉環控制;重復定位精度:0.1nm;線性度:0.2nm%F.S.2、自動圖像采集:軟件是圖像采集以及納米定位功能集成化控制的軟件,可以根據設定,驅動納米驅動器做納米級定位控制,同時對不同位置的干涉條紋進行采集;同時可設定圖像的曝光,像素,增益等參數。定位控制有開環閉環工能可供選擇。3、白光干涉分析軟件:基于Matlab使用,操作簡單,可以檢測臺階類樣品的臺階高度,臺階最大高度不大于70um;可以檢測到Ra不大于0.2um的表面粗糙度。可以截取到被檢測樣品的任何位置的橫切或者縱切面輪廓。檢測結果可以直接生成報告。直接可以測量的數據有,被選取位置的橫向以及縱向的粗糙度XRa,YRa;Sa,RMS,PV,以及視場區域內最大和最小的數據。四、聯想品牌計算機:Win764位操作系統/I7四核CPU/8G內存/獨立顯卡/23寸顯示器■儀器成套性1、白光干涉儀一臺2、白光干涉物鏡10X一只3、多功能工作臺一套4、專用數據采集系統一套5、PZT控制器及自動采集系統一套6、白光干涉測量軟件一套5、聯想品牌計算機一套6、產品合格證、保修卡及使用說明書一份
■ 產品簡介
CR-100V白光干涉檢測系統(白光干涉儀)可以非接觸檢測表面微結構形貌,以及相關的截面以及粗糙度參數。精度高,不會對被測物造成損壞。主要應用于高端制造行業,例如:光電子材料與器件、材料科學表面分析,MEMS微器件、LED芯片,光學測量、光學加工、精密機械加工,高等學校光學技術及物理光學實驗等。
■ 產品特點
1、非接觸檢測
2、新型白光干涉物鏡,工作距離可達17.7mm
3、可測試最低反射率0.5%的樣品
4、高分辨率彩色CCD系統
5、白光干涉軟件操作簡潔,全中文界面,很容易掌握操作。
■ 技術規格
一、白光干涉儀參數
1、光學設計:無限遠相移白光干涉系統
2、觀察方式:連接電腦,視頻顯示
3、光學參數
放大倍數 | 光學系統 | 數值孔徑N.A | 測量范圍 | 光學分辨率 | 工作距離 |
5X(選購) | 無限遠白光干涉 | 0.12 | 0.5 x 0.5 | 5um | 23.6mm |
10X | 無限遠白光干涉 | 0.25 | 0.25 x 0.25 | 2.2um | 17.7mm |
4、工作臺:圓盤360°旋轉,直徑150mm,帶傾斜調整功能,
X軸行程:76mm,Y軸行程:50mm
5、調焦:行程50mm,手動粗微調,微調格值0.002mm
6、光源:LED白光光源,亮度手動可調,使用壽命不低于10000小時。
中心波長:580nm
7、、電 源:AC100 --240 V 50-60Hz
8、儀器重量:20kg
二、圖像顯示:圖像傳感器: 1/2.5" 彩色300萬CMOS;分辨率:2048 x 1536;
像素點尺寸:2.2μmx2.2um;幀率:8fps全分辨率;數據接口:USB3.0.
三、自動圖像采集測量系統
1、納米驅動器: 最大位移:80um;分辨率:5nm閉環控制;
重復定位精度:0.1nm;線性度:0.2nm %F.S.
2、自動圖像采集:軟件是圖像采集以及納米定位功能集成化控制的軟件,可以根據設定,
驅動納米驅動器做納米級定位控制,同時對不同位置的干涉條紋進行采集;同時可設定
圖像的曝光,像素,增益等參數。定位控制有開環閉環工能可供選擇。
3、白光干涉分析軟件:基于Matlab使用,操作簡單,可以檢測臺階類樣品的臺階高度,
臺階最大高度不大于70um;可以檢測到Ra不大于0.2um的表面粗糙度。可以截取到被
檢測樣品的任何位置的橫切或者縱切面輪廓。檢測結果可以直接生成報告。直接可以測
量的數據有,被選取位置的橫向以及縱向的粗糙度XRa,YRa;Sa,RMS,PV,以及視場
區域內最大和最小的數據。
四、聯想品牌計算機: Win7 64位操作系統/I7四核CPU/8G內存/獨立顯卡/23寸顯示器
■ 儀器成套性
1、白光干涉儀 一臺
2、白光干涉物鏡10X 一只
3、多功能工作臺 一套
4、專用數據采集系統 一套
5、PZT控制器及自動采集系統 一套
6、白光干涉測量軟件 一套
5、聯想品牌計算機 一套
6、產品合格證、保修卡及使用說明書 一份
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