■產品簡介CR-100V白光干涉檢測系統(白光干涉儀)可以非接觸檢測表面微結構形貌,以及相關的截面以及粗糙度參數。精度高,不會對被測物造成損壞。主要應用于高端制造行業,例如:光電子材料與器件、材料科學表面分析,MEMS微器件、LED芯片,光學測量、光學加工、精密機械加工,高等學校光學技術及物理光學實驗等。■產品特點1.非接觸檢測2.新型白光干涉物鏡,工作距離可達17.7mm3.可測試最低反射率0.5%的樣品4.高分辨率彩色CCD系統■技術規格1、光學設計:無限遠相移白光干涉系統2、觀察方式:連接電腦,視頻顯示3、光學參數放大倍數光學系統數值孔徑N.A測量范圍光學分辨率工作距離5X(選購)無限遠白光干涉0.120.5x0.55um23.6mm10X無限遠白光干涉0.250.25x0.252.2um17.7mm4、工作臺:圓盤360°旋轉,直徑150mm,帶傾斜調整功能方形工作臺,X軸行程:76mm,Y軸行程:50mm5、調焦:行程50mm,手動粗微調,微調格值0.002mm6、圖像采集:圖像傳感器:1/2.5"彩色300萬CMOS;分辨率:2048x1536;像素點尺寸:2.2μmx2.2um;幀率:8fps全分辨率;數據接口:USB3.0.7、光源:LED白光光源,亮度手動可調,使用壽命不低于10000小時。中心波長:580nm8、電源:AC100--240V50-60Hz9、儀器重量:20kg■儀器成套性1、白光干涉儀一臺2、白光干涉物鏡10X一只3、方、園工作臺一套4、專用數據采集系統一套5、產品合格證、保修卡及使用說明書一份
■ 產品簡介
CR-100白光干涉檢測系統(白光干涉儀)可以非接觸檢測表面微結構形貌,以及相關的截面以及粗糙度參數。精度高,不會對被測物造成損壞。主要應用于高端制造行業,例如:光電子材料與器件、材料科學表面分析,MEMS微器件、LED芯片,光學測量、光學加工、精密機械加工,高等學校光學技術及物理光學實驗等。
■ 產品特點
1.非接觸檢測
2.新型白光干涉物鏡,工作距離可達17.7mm
3.可測試最低反射率0.5%的樣品
4.高分辨率彩色CCD系統
■ 技術規格
1、光學設計:無限遠相移白光干涉系統
2、觀察方式:連接電腦,視頻顯示
3、光學參數
放大倍數 | 光學系統 | 數值孔徑N.A | 測量范圍 | 光學分辨率 | 工作距離 |
5X(選購) | 無限遠白光干涉 | 0.12 | 0.5 x 0.5 | 5um | 23.6mm |
10X | 無限遠白光干涉 | 0.25 | 0.25 x 0.25 | 2.2um | 17.7mm |
4、工作臺:圓盤360°旋轉,直徑150mm,帶傾斜調整功能;X軸行程:76mm,Y軸行程:50mm
5、調焦:行程50mm,手動粗微調,微調格值0.002mm
6、圖像采集:圖像傳感器: 1/2.5"彩色300萬CMOS;分辨率:2048 x 1536;
像素點尺寸:2.2μmx2.2um;幀率:8fps全分辨率;數據接口:USB3.0.
7、光源:LED白光光源,亮度手動可調,使用壽命不低于10000小時。
中心波長:580nm
8、電 源:AC100 --240 V 50-60Hz
9、儀器重量:20kg
■ 儀器成套性
1、白光干涉儀 一臺
2、白光干涉物鏡10X 一只
3、多功能工作臺 一套
4、專用數據采集系統 一套
■ 儀器成套性
1、白光干涉儀 一臺
2、白光干涉物鏡10X 一只
3、方、園工作臺 一套
4、專用數據采集系統 一套
5、品牌計算機 一套
6、產品合格證、保修卡及使用說明書 一份
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